HORIBA lanza el sistema de monitoreo de soluciones químicas CS-1000
El CS-1000 mejora los procesos de fabricación de semiconductores al permitir la medición simultánea de tres parámetros en soluciones químicas con componentes de baja concentración.
HORIBA Advanced Techno, Co., Ltd. ha lanzado su nuevo sistema de monitoreo de soluciones químicas CS-1000. La serie CS de analizadores, que mide en tiempo real la concentración de químicos utilizados en procesos de fabricación de semiconductores, ha atendido las necesidades de la industria durante casi 30 años desde su lanzamiento en 1995.
El CS-1000, un sistema autónomo con un rendimiento mejorado, permite detectar químicos específicos presentes en soluciones químicas en cantidades traza (nivel de ppm[1]) sin necesidad de pretratamiento, gracias a un algoritmo único (patente pendiente[2]) que combina el análisis de absorbancia,[3] conductividad y pH. Al habilitar mediciones simultáneas de tres parámetros—concentración (hasta ocho componentes químicos), conductividad y pH—con un ciclo de actualización de solo seis segundos,[4] el CS-1000 contribuye al avance en el control de calidad.
Con solo aproximadamente cuatro horas[5] de mantenimiento cada seis meses, el CS-1000 también ayuda a reducir tiempos de inactividad. Además, permite la medición simultánea de dos soluciones químicas diferentes, incrementando la productividad.
Con la miniaturización de semiconductores, los químicos utilizados para fabricarlos se han vuelto más diversos, con muchos componentes o componentes en trazas. Esto exige un control de calidad estricto que abarque múltiples parámetros. La medición de componentes en bajas concentraciones a nivel de ppm ha sido especialmente desafiante para los fabricantes de dispositivos semiconductores, debido a la necesidad de pretratamiento y a la dificultad de realizar mediciones continuas en tiempo real.
Takuya Onoda, Gerente de Línea de Productos de HORIBA Advanced Techno, explica:
“Desarrollamos el CS-1000 como un modelo todo en uno para respaldar las tecnologías de fabricación de semiconductores más avanzadas del mundo, desarrollando aún más las funciones avanzadas de la serie CS. Como modelo autónomo, el CS-1000 puede instalarse de forma independiente en cualquier instalación de producción de semiconductores. Con su experiencia en ‘medición de agua y líquidos’, HORIBA Advanced Techno está comprometida a apoyar la industria de semiconductores en rápido avance, ofreciendo productos y tecnologías de alto valor agregado”.
CS-1000
Permite la gestión de la concentración de soluciones químicas multicomponentes con elementos traza utilizados en el proceso BEOL. Los componentes de baja concentración a nivel de ppm* en soluciones químicas pueden detectarse sin pretratamiento. Simplemente instale el sistema todo en uno, consolidado en un gabinete independiente, en el sitio de fabricación para comenzar su uso.
Características principales:
– Detección de componentes en baja concentración a nivel de ppm:
Gracias a un espectrómetro mejorado (rango de longitud de onda expandido y resolución aumentada) y a la combinación de señales de medidores de pH y conductividad, ahora es posible detectar componentes en trazas.
– Medición simultánea de dos soluciones químicas diferentes:
El dispositivo está equipado con dos líneas de flujo de muestra independientes, lo que permite mediciones simultáneas de dos soluciones químicas completamente aisladas.
– Solo 4 horas de mantenimiento cada seis meses:
Incluye un medidor de pH con función de calibración automática. El mantenimiento requiere solo reemplazar la lámpara y las botellas de solución interna y de calibración.
[1] 1 ppm = partes por millón. Para componentes líquidos, 1 ppm significa que hay 1 mg de un componente en 1 litro de líquido.
[2] Se han presentado solicitudes de patente en Japón, EE. UU., Corea y Taiwán.
[3] Grado en que la luz irradiada sobre un líquido es absorbida. Dado que la luz es absorbida a longitudes de onda características según el tipo de solución química y su concentración, la concentración de una solución puede deducirse midiendo la absorbancia.
[4] El tiempo requerido para la medición puede variar según las condiciones de aplicación.
[5] La frecuencia y el tiempo de mantenimiento pueden variar según las condiciones de uso.
https://www.horiba.com/int/company/news/detail/news/11/2024/20241127-cs-1000/
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